中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所加工定制超高真空電子束蒸發(fā)模塊服務(wù)采購項(xiàng)目成交公告公告概要：公告信息：采購項(xiàng)目名稱中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所加工定制超高真空電子束蒸發(fā)模塊服務(wù)采購項(xiàng)目品目貨物/設(shè)備/機(jī)械設(shè)備/金屬加工設(shè)備/其他金屬加工設(shè)備采購單位中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所行政區(qū)域上海市公告時(shí)間*年*月*日 *:*評審專家（單一來源采購人員）名單王曉燕 姚黎明 張師斌（用戶代表）總成交金額￥*.* 萬元（人民幣）聯(lián)系人及聯(lián)系方式：項(xiàng)目聯(lián)系人楊帆 陳小舫 趙倩項(xiàng)目聯(lián)系電話*-*/*-*/*-*采購單位中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所采購單位地址上海市長寧路*號采購單位聯(lián)系方式胡森 , *-*代理機(jī)構(gòu)名稱東方國際招標(biāo)有限責(zé)任公司代理機(jī)構(gòu)地址北京市海淀區(qū)丹棱街*號互聯(lián)網(wǎng)金融中心*層代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式楊帆 陳小舫 趙倩,*-*/*-*/*-*附件：附件***-上海微系統(tǒng)所-調(diào)試及加工服務(wù)-磋商采購文件-發(fā)售稿.*** 一、項(xiàng)目編號：****-**（招標(biāo)文件編號：****-**） 二、項(xiàng)目名稱：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所加工定制超高真空電子束蒸發(fā)模塊服務(wù)采購項(xiàng)目 三、中標(biāo)（成交）信息 供應(yīng)商名稱：上海潤理真空技術(shù)有限公司供應(yīng)商地址：上海市寶山區(qū)威航路*弄**號樓*層中標(biāo)（成交）金額：*.*（萬元）四、主要標(biāo)的信息 序號 供應(yīng)商名稱 服務(wù)名稱 服務(wù)范圍 服務(wù)要求 服務(wù)時(shí)間 服務(wù)標(biāo)準(zhǔn) * 上海潤理真空技術(shù)有限公司 加工定制超高真空電子束蒸發(fā)模塊服務(wù) 針對多種異質(zhì)晶圓研制、驗(yàn)證以及后續(xù)多種類型/結(jié)構(gòu)器件研發(fā)需求，建議定制超高真空、長腔（沉積距離）、低溫電子束金屬沉積裝置，用于制備超薄、超平、超細(xì)顆粒度的金屬薄層以開發(fā)輔助鍵合工藝，實(shí)現(xiàn)多種*英寸預(yù)埋（圖案化）金屬薄層的單晶功能薄膜異質(zhì)晶圓制備。其中，預(yù)埋（圖案化）金屬層還作為功能器件（射頻、光、功率等）結(jié)構(gòu)的一部分。 超高真空電子束蒸發(fā)模塊的腔體模塊主要密封采用金屬密封，只有部分常用法蘭口為膠圈密封，這樣設(shè)計(jì)的系統(tǒng)配合真空外烘烤可實(shí)現(xiàn)優(yōu)于***-* ****的背景真空，在這樣的真空環(huán)境下，可實(shí)現(xiàn)純度更高，準(zhǔn)直性更好，平整度更好的薄膜沉積，這些優(yōu)異的特性對超低線寬的微納圖形工藝都有幫助。液氮冷卻的樣品臺可實(shí)現(xiàn)樣品的溫度在鍍膜過程中維持在*°以下，樣品的低溫狀態(tài)有助于阻礙薄膜在生長過程中的晶粒長大，可獲得顆粒度更小的薄膜，可輕松實(shí)現(xiàn)< * **的表面粗糙度，較低的表面粗糙度對于超低特征尺寸的****-***工藝至關(guān)重要。液氮冷卻的樣品臺在未通入液氮的時(shí)候還可以做旋轉(zhuǎn)，可一定程度提高*英寸樣品的鍍膜均勻度，優(yōu)于+/-*%。 *個(gè)月 *）蒸鍍腔的極限真空度可達(dá)*×*-* ****； *）蒸鍍鍍膜均勻性在*英寸范圍內(nèi)優(yōu)于±* %； *）樣品臺水冷液氮兼容設(shè)計(jì)，冷卻同時(shí)可旋轉(zhuǎn)，最大可放置*英寸晶圓； *）配備*套電子束蒸發(fā)源，*°電子束偏轉(zhuǎn)；坩堝數(shù)量不小于*，軟件操作自動旋轉(zhuǎn)坩堝；電子槍需配備獨(dú)立自動擋板。 五、評審專家（單一來源采購人員）名單： 王曉燕 姚黎明 張師斌（用戶代表） 六、代理服務(wù)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)及金額： 本項(xiàng)目代理費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：*號文 本項(xiàng)目代理費(fèi)總金額：*.* 萬元（人民幣） 七、公告期限 自本公告發(fā)布之日起*個(gè)工作日。 八、其它補(bǔ)充事宜 本項(xiàng)采用綜合評分法，成交供應(yīng)商的評審總得分為*.*分。附件：磋商文件 九、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。 *.采購人信息 名 稱：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所　　　　　 地址：上海市長寧路*號　　　　　　　　 聯(lián)系方式：胡森 , *-*　　　　　　 *.采購代理機(jī)構(gòu)信息 名 稱：東方國際招標(biāo)有限責(zé)任公司　　　　　　　　　　　　 地　址：北京市海淀區(qū)丹棱街*號互聯(lián)網(wǎng)金融中心*層　　　　　　　　　　　　 聯(lián)系方式：楊帆 陳小舫 趙倩,*-*/*-*/*-*　　　　　　　　　　　　 *.項(xiàng)目聯(lián)系方式 項(xiàng)目聯(lián)系人：楊帆 陳小舫 趙倩 電　話：　　*-*/*-*/*-*